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一、基本信息

• ?分子式?：C??H??HfO?

• ?CAS號?：2172-02-3

• ?分子量?：470.94?16

• ?別名?：丁氧鉿、四叔丁氧基鉿、Hafnium(IV) t-butoxide?14

二、物理性質

• ?外觀?：微黃色液體，具有類似酒精的氣味?1

• ?密度?：1.166 g/mL（25℃）?4

• ?沸點?：90℃（5 mmHg壓力下）?14

• ?折射率?：n2?/D 1.424?4

• ?閃點?：83°F（約28.3℃）?4

三、化學性質與穩(wěn)定性

• ?反應性?：對水微害，需避免接觸地下水或污水系統(tǒng)；遇氧化物、水分及酸性物質可能分解，產生一氧化碳和二氧化碳?14

• ?儲存條件?：需密封保存，遠離氧化環(huán)境?4

四、應用領域

• ?材料沉積?：作為揮發(fā)性單體化合物，用于化學氣相沉積（CVD）或原子層沉積（ALD）工藝?36

五、安全信息

• ?危險性?：屬易燃液體（類別3），可能引起皮膚和眼睛刺激?46

• ?防護措施?：操作時需佩戴防護裝備，確保通風良好?

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