1. 基本信息? ?中文名稱?:四(乙氨基)鋯(別稱:四(二乙氨基)鋯、四(二乙氨基)鋯(IV))?12 ?英文名稱?: 系統(tǒng)命名:Tetrakis(diethylamino)zirconium?12 縮寫/別名:TEMAZ(部分文獻(xiàn))?6 ?CAS號?:13801-49-5?12 ?分子式?:C??H??N?Zr?12 ?分子量?:379.740 g/mol?25 ?2. 物理化學(xué)性質(zhì)? ?外觀?:淺黃色液體?14 ?密度?:1.026 g/cm3?24 ?沸點(diǎn)?:128°C(常壓)?27 ?熔點(diǎn)?:< -20°C?24 ?閃點(diǎn)?:12°C(可燃性液體)?24 ?LogP?(脂溶性):3.17?24 ?溶解性?:與水劇烈反應(yīng),釋放可燃?xì)怏w?14 ?3. 安全與儲存? ?危險性?: ?高度易燃?(R11)?14 ?遇水劇烈反應(yīng)?(R14)?14 ?刺激眼睛、呼吸系統(tǒng)及皮膚?(R36/37/38)?1 ?儲存條件?: 密封保存,避光、陰涼、干燥環(huán)境?24 需惰性氣體保護(hù),遠(yuǎn)離水、氧化物及火源?14 ?4. 應(yīng)用領(lǐng)域? ?薄膜材料制備?:用于化學(xué)氣相沉積(CVD)制備氮化鋯(ZrN)和氧化鋯(ZrO?)薄膜?