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1. 基本信息?

• ?中文名稱?：四(乙氨基)鋯（別稱：四(二乙氨基)鋯、四(二乙氨基)鋯(IV)）?12

• ?英文名稱?：

• 系統(tǒng)命名：Tetrakis(diethylamino)zirconium?12

• 縮寫/別名：TEMAZ（部分文獻(xiàn)）?6

• ?CAS號(hào)?：13801-49-5?12

• ?分子式?：C??H??N?Zr?12

• ?分子量?：379.740 g/mol?25

?2. 物理化學(xué)性質(zhì)?

• ?外觀?：淺黃色液體?14

• ?密度?：1.026 g/cm3?24

• ?沸點(diǎn)?：128°C（常壓）?27

• ?熔點(diǎn)?：< -20°C?24

• ?閃點(diǎn)?：12°C（可燃性液體）?24

• ?LogP?（脂溶性）：3.17?24

• ?溶解性?：與水劇烈反應(yīng)，釋放可燃?xì)怏w?14

?3. 安全與儲(chǔ)存?

• ?危險(xiǎn)性?：

• ?高度易燃?（R11）?14

• ?遇水劇烈反應(yīng)?（R14）?14

• ?刺激眼睛、呼吸系統(tǒng)及皮膚?（R36/37/38）?1

• ?儲(chǔ)存條件?：

• 密封保存，避光、陰涼、干燥環(huán)境?24

• 需惰性氣體保護(hù)，遠(yuǎn)離水、氧化物及火源?14

?4. 應(yīng)用領(lǐng)域?

• ?薄膜材料制備?：用于化學(xué)氣相沉積（CVD）制備氮化鋯（ZrN）和氧化鋯（ZrO?）薄膜?36。