?分子式?:C??H??HfO?
?CAS號(hào)?:2172-02-3?14
?分子量?:470.94–470.945 g/mol?14
?別名?:丁氧鉿、四叔丁氧基鉿、四(叔丁氧基)鉿?14
?外觀?:微黃色液體,氣味類似酒精?14
?密度?:1.166 g/mL(25°C)?46
?沸點(diǎn)?:90°C(5 mmHg)?46
?閃點(diǎn)?:83°F(約28.3°C)?46
?折射率?:n2?/D 1.424?4
?穩(wěn)定性?:需避免接觸氧化物、水分及酸性物質(zhì),分解產(chǎn)物為一氧化碳和二氧化碳?14
?危險(xiǎn)性?:易燃液體(類別3),可能引起皮膚和眼睛刺激?47
?儲(chǔ)存要求?:需密封保存,遠(yuǎn)離火源及不相容物質(zhì)?47
?環(huán)境影響?:對(duì)水有害,禁止直接排放至水體或污水系統(tǒng)?14
?工業(yè)用途?:主要用于化學(xué)氣相沉積(CVD)系統(tǒng),作為鉿源用于材料或半導(dǎo)體薄膜制備?36
?純度與包裝?:市場(chǎng)提供99.9%及以上純度(金屬基去除Zr),包裝規(guī)格包括2g、5g、10g等?23