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1. 基礎(chǔ)化學(xué)信息

• 中文名稱：四(二甲胺基)鉿（IV）

• 英文名稱：Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

• 分子式：C?H??HfN?

• 分子量：354.793 g/mol

• 物理性質(zhì)：

• 密度：1.098 g/mL（25°C）12

• 熔點：26-29°C14

• 沸點：6.1°C（760 mmHg）23

• 外觀：無色至淡黃色晶體36

• 敏感性：易與水分、質(zhì)子性溶劑快速反應(yīng)，需低溫干燥儲存24。

2. 應(yīng)用領(lǐng)域

• 催化劑：作為金屬有機化合物（MOF），常用于化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）工藝，用于制備高純度鉿基薄膜材料146。

• 電子材料：應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的介電層或柵極材料46。