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1. 基本信息

• 中文名：四(乙基甲基胺基)鉿(IV)，或四(甲乙氨基)鉿

• 英文名：Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)

• CAS號：352535-01-4

• 分子式：C12H32HfN4

• 分子量：410.9 134。

2. 物理化學(xué)性質(zhì)

• 密度：1.324 g/mL（25°C）

• 熔點：-50°C

• 沸點：79°C（0.1 mmHg）

• 閃點：52°F（約11°C）

• 外觀：無色至黃色固體 13412。

• 敏感性：對空氣和水分敏感，需在2-8°C密封保存 13。

3. 危險性及安全信息

• 危險標(biāo)志：

• F（易燃）

• R36/37/38（刺激眼睛、呼吸系統(tǒng)和皮膚）

• 安全建議：

• S26：接觸眼睛后需立即沖洗并就醫(yī) 1315。

• 運輸分類：UN3398（4.3類/PG2）1115。

4. 應(yīng)用領(lǐng)域

• CVD/ALD前驅(qū)體：用于制備鉿基薄膜材料，適用于半導(dǎo)體器件（如高介電材料）和光學(xué)涂層 417。

• 催化劑：可能參與有機合成反應(yīng)中的催化過程 4。