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分子式 ?C?H??N?Si? 的化合物解析

一、核心化合物

1. ?雙(叔丁基氨基)硅烷?（CAS 186598-40-3）

• 密度：0.816 g/cm3

• 沸點(diǎn)：167°C

• 閃點(diǎn)：30°C

• 分子量：174.359?13

• ?別名?：N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺?13

• ?物理性質(zhì)?：

• ?應(yīng)用?：金屬催化劑前驅(qū)體，適配貴金屬催化反應(yīng)?16。

2. ?雙(二乙基氨基)硅烷?（CAS 27804-64-4）

• 密度：0.804 g/cm3

• 沸點(diǎn)：188.5±23.0°C（760 Torr）

• 閃點(diǎn)：67.8±22.6°C

• 分子量：174.36?24

• ?物理性質(zhì)?：

• ?特性?：對(duì)空氣和濕氣敏感，水解生成二氧化硅薄膜?8。

• ?應(yīng)用?：原子層沉積（ALD）前驅(qū)體，用于半導(dǎo)體器件涂層?48。

二、物理性質(zhì)對(duì)比

三、應(yīng)用領(lǐng)域

1. ?半導(dǎo)體制造?：雙(二乙基氨基)硅烷通過ALD工藝制備高純度二氧化硅薄膜，適配先進(jìn)芯片制造?48。

2. ?催化反應(yīng)?：雙(叔丁基氨基)硅烷作為鉑、鈀等貴金屬催化劑前驅(qū)體，用于高分子材料合成?16。

3. ?精細(xì)化工?：兩種化合物均可作為中間體，參與有機(jī)硅衍生物及特種化學(xué)品的生產(chǎn)?18。

4.