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分子式 ?C?H??N?Si? 對應(yīng)的化合物解析

一、核心化合物及特性

1. ?雙(叔丁基氨基)硅烷?（CAS 186598-40-3）

• 密度：0.816 g/cm3

• 沸點：167°C

• 閃點：30°C

• 分子量：174.359?13。

• ?物理性質(zhì)?

• ?別名?：N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺?3。

• ?應(yīng)用?：金屬催化劑前驅(qū)體?1。

2. ?雙(二乙基氨基)硅烷?（CAS 27804-64-4）

• 密度：0.804 g/cm3

• 沸點：188.5±23.0°C（760 Torr）

• 閃點：67.8±22.6°C

• 分子量：174.36?24。

• ?物理性質(zhì)?

• ?特性?：對空氣和濕氣敏感，水解生成二氧化硅薄膜?8。

• ?應(yīng)用?：原子層沉積（ALD）前驅(qū)體材料，用于半導(dǎo)體器件涂層?8。

3. ?二(異丙基氨基)二甲基硅烷?（CAS 6026-42-2）

• ?結(jié)構(gòu)?：含二甲基硅基及兩個異丙基氨基基團。

• ?應(yīng)用?：有機合成中間體，精細化學(xué)品生產(chǎn)?7。

二、物理性質(zhì)對比

三、應(yīng)用領(lǐng)域

1. ?半導(dǎo)體制造?

• 雙(二乙基氨基)硅烷用于制備高純度二氧化硅薄膜，適配先進電子器件?8。

2. ?催化反應(yīng)?

• 雙(叔丁基氨基)硅烷作為金屬催化劑前驅(qū)體，參與高分子材料合成?1。

3. ?精細化工?

• 二(異丙基氨基)二甲基硅烷用于醫(yī)藥中間體及特種化學(xué)品生產(chǎn)?

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