?中文名?:三(二甲胺基)硅烷
?英文名?:Tris(dimethylamino)silane
?CAS號?:15112-89-7
?分子式?:C?H??N?Si
?分子量?:161.32(常見值)?12
?別名?:
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅三胺(IUPAC名稱)?1
Tris(dimethylamino)silyl?1
?密度? | 0.828-0.838 g/cm3 ?12 |
?沸點(diǎn)? | 145°C(常壓)?1;145-148°C(765 Torr)?28 |
?熔點(diǎn)? | <0°C(液態(tài))?27 |
?閃點(diǎn)? | 25-38.4°C(差異源于測試方法)?17 |
?折射率? | 無可用數(shù)據(jù)?14 |
?外觀? | 無色至淺黃色液體?36 |
?穩(wěn)定性? | 需密閉于陰涼干燥環(huán)境,對濕氣敏感?27 |
?有機(jī)硅合成?
作為關(guān)鍵中間體用于制備高性能有機(jī)硅材料(如硅橡膠、硅樹脂)?36。
?金屬催化劑?
用于貴金屬催化劑的合成,適配精細(xì)化工及高分子材料反應(yīng)?26。
?半導(dǎo)體涂層?
潛在應(yīng)用包括原子層沉積(ALD)工藝,生成二氧化硅薄膜?