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叔丁基亞氨基三(二甲基氨基)鉭(V)（CAS號(hào)：69039-11-8）

一、基本性質(zhì)

1. ?化學(xué)組成?

• ?分子式?：C??H??N?Ta，分子量約384.30?12。

• ?別名?：叔丁基亞胺基三(二甲基氨基)鉭、(TERT-BUTYLIMINO)TRIS(DIMETHYLAMINO)TANTALUM?12。

2. ?物理性質(zhì)?

• ?外觀?：通常為固體，具體形態(tài)未明確描述?3。

• ?溶解性?：易溶于有機(jī)溶劑（如異丙醇/己烷混合溶液）?1。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

1. ?薄膜材料制備?

• 作為化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）前驅(qū)體，用于制備氮化鉭（TaN）或氧化鉭（Ta?O?）薄膜，應(yīng)用于電子元件介電層和光學(xué)涂層?13。

2. ?催化與合成?

• 在有機(jī)金屬反應(yīng)中作為催化劑或中間體，參與合成含鉭功能材料?35。

三、安全與儲(chǔ)存

1. ?儲(chǔ)存條件?

• 需避光、密封保存于陰涼環(huán)境，部分產(chǎn)品以溶液形式儲(chǔ)存?13。

2. ?危險(xiǎn)性?

• 具有腐蝕性，操作時(shí)需佩戴防護(hù)裝備（手套、護(hù)目鏡），避免直接接觸?

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