?化學(xué)組成?
?分子式?:C??H??N?Ta,分子量約401.33?13。
?別名?:五(二甲氨基)鉭(V)、PDMAT、TADMA、Ta(NMe?)??13。
?外觀與形態(tài)?
橙色晶體或粉末狀固體?34。
熔點(diǎn):約100°C(分解)?45;沸點(diǎn):常壓下6.1°C,0.1 mmHg條件下100°C?45。
?溶解性與儲(chǔ)存?
易溶于有機(jī)溶劑,需在充氬氣、避光、干燥環(huán)境中保存?37。
?薄膜材料制備?
作為化學(xué)氣相沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)前驅(qū)體,用于制備氮化鉭(TaN)及氧化鉭(Ta?O?)薄膜,應(yīng)用于集成電路柵極介電層、光學(xué)涂層等領(lǐng)域?67。
?催化與合成?
在有機(jī)金屬反應(yīng)中作為催化劑或中間體,用于合成含鉭功能材料?35。
?危險(xiǎn)性描述?
?GHS標(biāo)識(shí)?:易燃固體(H228)、遇水釋放自燃?xì)怏w(H260)、腐蝕性(H314)?58。
操作需佩戴防護(hù)裝備(手套、護(hù)目鏡),遠(yuǎn)離火源及潮濕環(huán)境?57。
?儲(chǔ)存與運(yùn)輸?
密封保存于陰涼處(推薦室溫或2-8°C),以25千克/桶或克級(jí)包裝為主?