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五(二甲基氨基)鉭

五(二甲基氨基)鉭(CAS號(hào):19824-59-0)

一、基本性質(zhì)

  1. ?化學(xué)組成?

    • ?分子式?:C??H??N?Ta,分子量約401.33?13。

    • ?別名?:五(二甲氨基)鉭(V)、PDMAT、TADMA、Ta(NMe?)??13。


二、物理性質(zhì)

  1. ?外觀與形態(tài)?

    • 橙色晶體或粉末狀固體?34。

    • 熔點(diǎn):約100°C(分解)?45;沸點(diǎn):常壓下6.1°C,0.1 mmHg條件下100°C?45。

  2. ?溶解性與儲(chǔ)存?

    • 易溶于有機(jī)溶劑,需在充氬氣、避光、干燥環(huán)境中保存?37。


三、應(yīng)用領(lǐng)域

  1. ?薄膜材料制備?

    • 作為化學(xué)氣相沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)前驅(qū)體,用于制備氮化鉭(TaN)及氧化鉭(Ta?O?)薄膜,應(yīng)用于集成電路柵極介電層、光學(xué)涂層等領(lǐng)域?67。

  2. ?催化與合成?

    • 在有機(jī)金屬反應(yīng)中作為催化劑或中間體,用于合成含鉭功能材料?35。


四、安全與危險(xiǎn)性

  1. ?危險(xiǎn)性描述?

    • ?GHS標(biāo)識(shí)?:易燃固體(H228)、遇水釋放自燃?xì)怏w(H260)、腐蝕性(H314)?58。

    • 操作需佩戴防護(hù)裝備(手套、護(hù)目鏡),遠(yuǎn)離火源及潮濕環(huán)境?57。

  2. ?儲(chǔ)存與運(yùn)輸?

    • 密封保存于陰涼處(推薦室溫或2-8°C),以25千克/桶或克級(jí)包裝為主?


獲取產(chǎn)品報(bào)價(jià)
產(chǎn)品概述
產(chǎn)品特點(diǎn)
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