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?          基本信息?

• ?分子式?：C??H??N?Ta?13

• ?分子量?：401.3266?13

• ?CAS號?：19824-59-0?12

• ?別稱?：五(二甲氨基)鉭(V)、鉭二甲基胺、Ta(NMe?)?、TADMA?12

?物理與化學性質(zhì)?

1. ?物理性質(zhì)?

• ?外觀?：橙色晶體或固體?35

• ?熔點?：100°C（分解）?35

• ?沸點?：100°C（0.1 mmHg條件下）?35

• ?密度?：未明確報道，需實驗測定。

• ?蒸汽壓?：1520 mmHg（25°C）?57

2. ?化學特性?

• 對濕度和空氣敏感，需在?充氬環(huán)境?中儲存?47

• 易燃且具有腐蝕性，與水反應劇烈?25

?應用領域?

1. ?薄膜材料制備?

• 作為?CVD（化學氣相沉積）和ALD（原子層沉積）前驅(qū)體?，用于制備氮化鉭（TaN）和氧化鉭（Ta?O?）薄膜?47。

• Ta?O?薄膜在?集成電路柵電介質(zhì)?和光電器件中具有潛在應用?47。

2. ?催化與合成?

• 可用作金屬催化劑，參與有機合成反應?36。

?安全與儲存?

• ?危險性?：

• ?危險類別?：易燃液體（H228）、遇水釋放可燃氣體（H260）、皮膚腐蝕（H314）?7

• ?運輸標識?：UN 2920（8類腐蝕性物質(zhì)）?37

• ?防護措施?：

• 操作時需佩戴防腐蝕手套、護目鏡，并在惰性氣體環(huán)境中處理?47

• 儲存條件：密封、干燥、陰涼（推薦溫度≤4°C）?34

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