CAS號:308103-54-0(主要參考)812,另有其他來源提及 175923-03-23,可能因異構(gòu)體或數(shù)據(jù)差異導(dǎo)致。
分子量:280.28 g/mol812。
結(jié)構(gòu)式:包含四個乙基甲基氨基(N-EtMe)配體與鈦中心原子配位814。
密度:0.923 g/mL(25°C)812。
沸點:80°C(0.1 mmHg)18。
閃點:36°F(約 2.22°C)812。
形態(tài):黃色至橙色液體,具有蠟狀粘性8。
穩(wěn)定性:常溫常壓下穩(wěn)定,但易與水分、質(zhì)子溶劑快速反應(yīng)(需干燥儲存)18。
危險性:
皮膚或眼睛接觸可能引發(fā)刺激14;
吸入可能損害呼吸道1。
儲存條件:需置于陰涼、干燥、通風(fēng)處,遠離水源和氧化劑18。
半導(dǎo)體工藝:作為金屬有機前驅(qū)體(MO源),用于化學(xué)氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD),制備鈦基薄膜材料813。
催化領(lǐng)域:可能作為有機合成中的催化劑或中間體1
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