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四(二乙氨基)鈦

1. 基本信息

  • 化學(xué)式:C16H40N4Ti

  • 分子量:336.38

  • CAS號:4419-47-0

  • 結(jié)構(gòu)特點(diǎn):四個二乙氨基(-NEt?)配體通過氮原子與鈦(IV)中心配位,形成四面體結(jié)構(gòu)14


2. 物理化學(xué)性質(zhì)

  • 密度:0.931 g/mL(25°C)13

  • 熔點(diǎn):4°C17

  • 沸點(diǎn):112°C(0.1 mmHg 下)34

  • 折射率:1.5361

  • 閃點(diǎn):-18°F(約-28°C,易燃液體)47

  • 敏感性:對濕氣、水和質(zhì)子性溶劑敏感,需嚴(yán)格密封保存46。


3. 應(yīng)用領(lǐng)域

  • 半導(dǎo)體/薄膜沉積:作為前驅(qū)體用于化學(xué)氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)工藝,制備鈦基薄膜(如光學(xué)涂層或半導(dǎo)體材料)313。

  • 催化劑:在貴金屬催化劑制備中作為中間體或活性組分38。


4. 安全信息

  • 危險標(biāo)志:易燃(F)、腐蝕性(C)、刺激性(Xi)47

  • 安全操作:需佩戴防護(hù)手套、護(hù)目鏡,在通風(fēng)櫥中操作;避免接觸濕氣48。

  • 運(yùn)輸分類:UN 3398(4.3類危險品,遇濕易燃)47。


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