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一、基本信息

1. 分子式：C??H??N?W
   分子量：414.24 1411

2. 物理性質(zhì)：

• 沸點：81°C（0.02 mmHg）

• 密度：1.305 g/mL（25°C）

• 形態(tài)：液態(tài)，呈粘黃色 1413。

3. 敏感性：對空氣和濕氣敏感，需惰性氣體保護 14。

二、用途與合成

1. 主要用途：

• 作為氣相沉積前驅(qū)體，用于原子層沉積（ALD）制備碳化鎢（WC）和氮化鎢（WN）薄膜 1611。

• 應(yīng)用于微納電子器件、催化及無機化學領(lǐng)域 1613。

2. 合成與包裝：

• 純度可達99.99%（痕量金屬基準），常見規(guī)格為1g或5g液體包裝